컨텐츠 바로가기
ID PW
보안접속
() 해외배송 가능
• 어깨끈, AAA건전지 4개, 필터 엘리먼트 2매
• AC전용아답타 (CA100V/CD6V), 센서용통전대, 데이터수집키트
• 독성가스 측정기 / 반도체 재료가스
• 반도체재료가스, 유해가스의 누설 정도를 정밀하게 측정하여 표시합니다.
※ 측정 가스별 센서를 먼저 확인하시고 견적요청해 주십시오 (카달로그 센서테이블 확인)
※ 리스트 항목 이외의 가스에 대해서는 별도로 문의해 주십시오.
• 정전위 전해식 방식 / 자동흡입식
○ 본체(XPS-7) 한 대에 6개월간 정도를 보증하는 가스센서 유니트만(XDS-7) 갈아 끼우는 카세트 방식으로 교정을 위한 반출등 별도의 교정 절차가 필요없어 제품관리가 쉬우며, 다양한 가스를 합리적인 비용으로
측정할 수 있습니다
○ 신뢰성 높은 정전위 전해식 센서를 사용하여 유기용제(에탄올, 톨루엔, 크실렌 등)에 의한 영향이 적고, 각종 반도체 재료 가스를 정도 높게 측정합니다
○ 보기 편리한 디지털 표시: 대형 표시부를 채용하여 각종 표시문자를 읽기 편합니다
○ 자동흡입식
.독자적인 마이크로 에어펌프에 의한 자동흡입식 으로 조작이 간편합니다
○ 유입관 및 흡입파이프 등에 테프론을 사용하여 가스 흡착에 의한 영향을 받지 않습니다
○ 여러개의 센서를 사용하실 시
.센서의 수명과 정확도를 위하여 전용 통전대(EC-7)를 사용하여 주십시오(Option)
센서 MODEL
대상 가스
최대 범위 (F.S)
XDS - 7NH
NH3 (암모니아)
100 ppm
XDS - 7SH
SiH4 (실레인)
25 ppm
XDS - 7DC
SiH2Cl2 (디클로로실란)
XDS - 7AH
AsH3 (아르신)
250 ppb
XDS - 7PH
PH3 (인화수소)
1 ppm
XDS - 7BH
B2H2 (디보란)
500 ppb
XDS - 7SE
H2Se (하이트로젠셀레나이드)
XDS - 7GH
GeH4 (사수소화게르마늄)
XDS - 7CL
Cl (염소)
5 ppm
XDS - 7CF
CIF3 (불소화염소)
XDS - 7ND
NO2 (이산화질소)
10 ppm
XDS - 7HC
HCl (염화수소)
XDS - 7HF
HF (불화수소)
XDS - 7HB
HBr (브롬화수소)
XDS - 7NO2
NO (일산화질소)
XDS - 7HS
H2S (황화수소)
50 ppm
XDS - 7CO
CO (일산화탄소)
250 ppm
XDS - 7DS
Si2H6 (디실란)
XDS - 7F2
F2 (불소)
XDS - 7OZ
O3 (오존)
XDS - 7SD
SO2 (아황산 가스)
검지 원리
정전위 전해식
채집 방식
자동 흡입식
정 도
±10% (F.S) ±1 Digit
응답 시간
60% 응답 60초
사용 온도
0 ~ 40℃
공급 전원
1.5V 건전지 X 4개 또는 AC 아답터(옵션)
건전지 사용시간
연속 사용 시 대략 12시간
외 형
62 X 150 X 128㎜ / 대략 1.3㎏
기본 부속품
어깨끈, AAA건전지, 필터 얼라인먼트 X 2매
옵 션
AC 아답터 (CA100V/DC6V), 센서전용 통전대, 데이터 수집 키트
• 기기에 대해 궁금한 점을 해결해 드립니다 •
게시물이 없습니다