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• 전자파 측정기
• 본 기기는 반도체/ LCD 관련 장비, 고주파 가열, 프라즈마 발생 장치 등 산업용 RF 대역의 전자파 측정기입니다.
※ 제품을 선택하시기 전에, [기술자료]를 참고해 주십시오.
○ 한개의 Probe로 전기장은 물론 자기장도 측정할 수 있어
○ 별도의 Probe는 필요하지 않습니다
○ 측정정도와 지향성 특성이 매우 우수한 등방성(3축)
○ 측정 방식을 채용하여 어떤 측정기준에도 적합합니다
○ 산업용 장비의 전자파강도 측정에 적합한
○ 주파수 대역 (300KHz ~ 100MHz 대역)을 지원합니다
○ 모든 기능 선택이 원터치식으로 되어 있어 사용하기가 매우 쉽습니다.
○ 측정치는 실효치로 표시하며, 최대치 Hold 기능이 있습니다
○ 전자파 강도 측정 단위로 전기장 및 자기장 단위는
○ 물론 전력 밀도 단위로도 변환됩니다
○ 프로브는 충분한 과입력 수용범위를 가지고 프로브 고장이 거의 없습니다
○ 원터치로 영점 보정을 자동으로 할 수 있어 드리프트 오차가 적고 측정 신뢰도가 높습니다
○ 소형 경량이므로 현장측정이 쉽고, 가격이 저렴한 보급형 전자파 측정기입니다
※ 응용 분야
// 반도체,LCD 관련 장비의 전자파강도(EMF) 측정 (SEMI S2 인증 시험)(Etcher, Sputterer, Asher, Glass Deposition 장비 등)
// RF, 고주파 가열 포장기, 비닐 포장기의 전자파 강도 (EMF) 측정.
// 고주파 가열 공정의 전자파 강도(EMF) 측정.
// 프라즈마 발생 장치의 전자파 강도(EMF) 측정.
// 유전체 건조기 및 가열기의 전자파 강도(EMF) 측정.
MODEL
8511
8513
측 정 항 목
전기장 및 자기장
측정축 방향
등방성(3축) 센서 채용
주파수 범위
300㎑ ~ 100㎒
10㎑ ~ 42㎒
(4 Range : 0.3~1㎒, 1~20㎒,
(3 Range : 10~20㎒, 20~35㎒,
20~80㎒,80~100㎒ 선택)
35~42㎒ 선택)
측 정 범 위
전기장 : 0.1 ~ 100㎷/㎠ (4 ~ 614V/m)
0.05 ~ 50.0㎷/㎠
자기장 : 0.2 ~ 200㎷/㎠ (0.05 ~ 2.5A/m)
측 정
±1.5㏈ 이하
전기장 : ±0.75㏈이하
최대 오차
(주파수 특성, 계기 오차 포함)
자기장 : ±1.0㏈이하
등방성 오차
±1.0dB 이하
교 정 오 차
±0.5dB 이하
영점 보정
원터치 자동 영점보정 기능 내장
표 시 단 위
mW/㎠, W/㎡, V/m, A/m
표 시 기
LCD 표시기 (Digital 및 Bar graph 표시)
경 보 기 능
Over range 경보음
환경 조건
온도: -20 ~ +50℃, 습도: 0 ~ 90% RH
사 용 전 원
9V Alkaline (50시간 사용)
크 기
본체: 198 x 64 x 46mm, Probe 길이: 41cm, 선 길이: 110cm
무 게
본체: 610g, Probe: 460g
• 기기에 대해 궁금한 점을 해결해 드립니다 •
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