○ Ethernet Modbus RTU® , RS-485 Modbus RTU® 및 Pulse 지원
○ 쉽게 식별하는 상태표시 램프
○ FMS와의 간편한 인터페이스
○ 스텐레스 외형
○ (외부) 진공펌프와의 손쉬운 연결
○ 2년 보증
○ 7110모델은 ISO 21501-4에 명시된 까다로운 요건들을 모두 충족하고 있으며, 파티클 측정에 있어 전세계적으로 인정하고 모두 사용하고 있는 TSI의 입자분류/생성기(Classifier/Generator)와 응결식 파티클 카운터(CPC)를 사용하여 NIST 표준에 준거해 캘리브레이션 되었으며, 전세계적인 지사 및 대리점 시스템을 이용해 모든 캘리브레이션 및 사후 서비스에 완벽을 기하고 있음을 밝혀 드립니다.
○ 이러한 확고한 서비스 지원 및 2년 보증과 함께 이 (원격)설치형 파티클 카운터들은 현재 시장에 나와 있는 것들 중에서 가장 정확하고, 가장 높은 유량의 그리고 가장 감도가 좋은 파티클 카운터임을 분명히 밝힙니다.
○ 반도체나 제약, 바이오 등의 첨단 생산공정을 갖추고 있는 산업분야는 미세 먼지에도 쉽게 오염되어
품질 이상이 발생합니다.
○ 이에 따라, 이런 제품 생산을 위해서는 미세 먼지가 절대 침투하지 못하게 클린룸(Clean Room)이라는 청정 공간을 필요로 합니다.
○ 클린룸을 위한 필수장비로서 Particle Counter는 먼지 한개도 허용하지 않는 청정공간을 만들기 위해
클린룸 내부 환경은 물론, 생산 장비 내부, ULPA, HEPA 필터, Gas, UPW 등 모든 오염제어를 위한
첫번째 감시 단계로서 반드시 사용되어야 합니다.
○ TSI의 Particle Sensor는 On Line Monitoring을 위한 제품으로 Serial, RS485 또는 Ethernet 통신을
사용하여 24시간 실시간 Particle Monitoring을 할 수 있습니다.
○ 2000개의 메모리 내장으로 통신장애 발생시 자체 데이터 저장되어 손실을 방지합니다.
※ 응용분야
.크린룸 시설 검사 .공조설비 시설 검사 .필터입자 포집효율 시험용 .공기청정장치의 입자포집효율 또는 성능시험 .청정 시설 검사 화학, 제약, 금속, 전기, 전자, 고무, 산업용 연구소, 실험, 생산라인 등
MODEL
7110 S E N S O R
측정 입자범위
0.1 ~ 10.0 um
측정 SIZE
0.1, 0.15, 0.2, 0.25, 0.3, 0.5, 1.0, 5.0 um (0.7 um 가능)
농도 한계
100,000 particles/ft3 (3,500,000/m3) @ 10% coincidence loss
계수 효율
50% at 0.100 µm; 100% for particles >0.15 µm (per ISO 21501-4 and JIS)
광원
Enhanced active cavity HeNe laser
영점 변동
<1 count per 5 minutes (per ISO 21501-4 and JIS)
샘플 유량
1 CFM (28.3 L/min) ±5% accuracy (meets ISO 21501-4 and JIS B9921)