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[P0000EVX] XPS-7 Series 적립금

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XPS-7 Series 기본 정보
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▶ 주사양 NH3/SiH4/B2H2/Cl 外
▶ 무이자할부
▶ 제조사 NEW COSMOS
▶ 원산지 일본 NEW COSMOS
▶ 상품코드 P0000EVX
▶ 수량

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어깨끈, AAA건전지 4개, 필터 엘리먼트 2매


 

AC전용아답타 (CA100V/CD6V), 센서용통전대, 데이터수집키트


 

 

 독성가스 측정기 / 반도체 재료가스

 

• 반도체재료가스, 유해가스의 누설 정도를 정밀하게 측정하여 표시합니다.

 

※ 측정 가스별 센서를 먼저 확인하시고 견적요청해 주십시오 (카달로그 센서테이블 확인)

리스트 항목 이외의 가스에 대해서는 별도로 문의해 주십시오.

 

• 정전위 전해식 방식 / 자동흡입식 


 

본체(XPS-7) 한 대에 6개월간 정도를 보증하는 가스센서 유니트만(XDS-7) 갈아 끼우는 카세트 방식으로
   교정을 위한 반출등 별도의 교정 절차가 필요없어 제품관리가 쉬우며, 다양한 가스를 합리적인 비용으로

   측정할 수 있습니다

 

 신뢰성 높은 정전위 전해식 센서를 사용하여 유기용제(에탄올, 톨루엔, 크실렌 등)에 의한 영향이 적고,
   각종 반도체 재료 가스를 정도 높게 측정합니다

 

 보기 편리한 디지털 표시: 대형 표시부를 채용하여 각종 표시문자를 읽기 편합니다

 

 자동흡입식

 

  .독자적인 마이크로 에어펌프에 의한 자동흡입식 으로 조작이 간편합니다

 

 유입관 및 흡입파이프 등에 테프론을 사용하여 가스 흡착에 의한 영향을 받지 않습니다

 

 여러개의 센서를 사용하실 시
 

  .센서의 수명과 정확도를 위하여 전용 통전대(EC-7)를 사용하여 주십시오(Option 

 

 

 

센서 MODEL

대상 가스

최대 범위 (F.S)

XDS - 7NH

NH3 (암모니아)

100 ppm

XDS - 7SH

SiH4 (실레인)

25 ppm

XDS - 7DC

SiH2Cl2 (디클로로실란)

25 ppm

XDS - 7AH

AsH3 (아르신)

250 ppb

XDS - 7PH

PH3 (인화수소)

1 ppm

XDS - 7BH

B2H2 (디보란)

500 ppb

XDS - 7SE

H2Se (하이트로젠셀레나이드)

250 ppb

XDS - 7GH

GeH4 (사수소화게르마늄)

1 ppm

XDS - 7CL

Cl (염소)

5 ppm

XDS - 7CF

CIF3 (불소화염소)

1 ppm

XDS - 7ND

NO2 (이산화질소)

10 ppm

XDS - 7HC

HCl (염화수소)

25 ppm

XDS - 7HF

HF (불화수소)

10 ppm

XDS - 7HB

HBr (브롬화수소)

10 ppm

XDS - 7NO2

NO (일산화질소)

100 ppm

XDS - 7HS

H2S (황화수소)

50 ppm

XDS - 7CO

CO (일산화탄소)

250 ppm

XDS - 7DS

Si2H6 (디실란)

25 ppm

XDS - 7F2

F2 (불소)

5 ppm

XDS - 7OZ

O3 (오존)

1 ppm

XDS - 7SD

SO2 (아황산 가스)

10 ppm

검지 원리

정전위 전해식

채집 방식

자동 흡입식

   

±10% (F.S) ±1 Digit

응답 시간

60% 응답 60초

사용 온도

0 ~ 40℃

공급 전원

1.5V 건전지 X 4개 또는 AC 아답터(옵션)

건전지 사용시간

연속 사용 시 대략 12시간

   

62 X 150 X 128㎜ / 대략 1.3㎏

기본 부속품

어깨끈, AAA건전지, 필터 얼라인먼트 X 2매

   

AC 아답터 (CA100V/DC6V), 센서전용 통전대, 데이터 수집 키트


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